市場監(jiān)督管理総局は新たに、二次元クロムナノ格子標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二次元シリコンナノ格子標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、一次元シリコンナノ光格子標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)の3種の國家1級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)を批準(zhǔn)した。ナノ製造産業(yè)の角度と長さの校正の需要を同時に満たし、新世代情報技術(shù)、新材料、バイオものづくり、ハイエンド設(shè)備などの分野でのナノ製造に正確な「物差し」を提供する。

高精度のナノレベル標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)の開発は、高精度ナノ計測伝達チェーンの構(gòu)築、國産ナノ製造製品の品質(zhì)及び信頼性の向上の鍵となる。ウエハレベル原子間力顕微鏡や走査電子顕微鏡などの集積回路微細(xì)検査裝置の校正に使用できる。また超精密変位センサーの各種パラメータの光格子干渉法による校正にも使用できる。

ナノレベル角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)の開発成功は、ナノ計測分野のフラット化計測を?qū)g現(xiàn)し、伝統(tǒng)的な段階的量値伝達法による誤差の拡大を回避した。オンライン校正により高精度計測データを企業(yè)の計測現(xiàn)場に直接伝えることができる。中國のナノ製造産業(yè)の質(zhì)の高い発展に力強いサポートを提供する。

「中國網(wǎng)日本語版（チャイナネット）」2024年10月9日